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&苍产蝉辫;在工业和研究中高精度表面分析发挥着至关重要的作用它可以帮助确保材料和组件实现令人满意的性能，但同时也面临着诸多挑战:表面结构错综复杂，高倾斜度区域要求横向分辨率达到数微米，而关键性微观峰谷要求垂直分析达到亚纳米级。虽然共聚焦显微技术可以提供高横向分辨率但要实现亚纳米级垂直分辨率则需要干涉测量技术。